主要功能：本設備用于石英爐管及零件的清洗，通過PLC控制相應的泵、閥，可在自動或手動模式下清洗12英寸雙層面石英管（包括不規則形狀）、晶舟、外管、內管、點火筒及其他石英和SiC部件，進行噴酸（石英管內、外壁）、自動卸酸、DIW高壓噴射（同時石英管轉動）、氮氣吹干等多個工序一次完成以保證石英管油污、顆粒、雜質的徹底清除，石英管的清洗為過濾循環酸洗及DIW水沖洗，設備同時能夠滿足廠務動力要求和滿意的售后服務。