化學品分配系統是旨在將化學品和化學品輸送到用于濕法處理晶圓的生產工具。通常，濕處理化學品通過過濾器被泵送到儲罐中，然后將過濾的化學品供給到工廠中其他的處理工具。過濾流量通常很低，通常是單程的，意味著這些化學品只被過濾一次。由于過濾器有一個或多個機會可以去除不需要的顆粒，所以應該使用具有高顆粒去除效率的過濾器。

  XZC為化學品分配提供理想選擇，這些過濾器專為單通道或小流量系統而設計，并針對較高的顆粒去除效率和清潔度進行了優化。

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